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光學(xué)微電子行業(yè)工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之
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凈化板,分為單板型和復(fù)合型兩種。單板型以水泥壓力板為基材,應(yīng)用于醫(yī)院、實(shí)驗(yàn)室、機(jī)房等對(duì)環(huán)境清潔要求高的區(qū)域。復(fù)合型,由彩涂板、不銹鋼等材質(zhì)作為面材的復(fù)合板,應(yīng)用于電子行業(yè)工程、制藥、食品、生物、航天航空、精密儀器制造及科研等對(duì)室內(nèi)環(huán)境要求苛